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高温热氧化工艺的统计模拟
引用本文：沈燕辉,魏同立.高温热氧化工艺的统计模拟[J].电子器件,1989(2):32-33.
作者姓名：沈燕辉  魏同立
作者单位：不详
摘    要：
关 键 词：氧化工艺  统计模拟  集成电路  高温
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