| 聚合物MEMS磁扭转微镜电流传感特性研究 |
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| 引用本文： | 王巨锋,黄梅红,庄琳玲,刘士伟,胡奕彬,庄其仁.聚合物MEMS磁扭转微镜电流传感特性研究[J].光电子．激光,2015,26(3):450-456. |
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| 作者姓名： | 王巨锋 黄梅红 庄琳玲 刘士伟 胡奕彬 庄其仁 |
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| 作者单位： | 华侨大学 信息科学与工程学院,福建 厦门 361021;泉州师院 应用科技学院,福建 泉州 362000;华侨大学 信息科学与工程学院,福建 厦门 361021;泉州师院 应用科技学院,福建 泉州 362000;华侨大学 信息科学与工程学院,福建 厦门 361021;泉州师院 应用科技学院,福建 泉州 362000;华侨大学 信息科学与工程学院,福建 厦门 361021;泉州师院 应用科技学院,福建 泉州 362000;华侨大学 信息科学与工程学院,福建 厦门 361021;泉州师院 应用科技学院,福建 泉州 362000;华侨大学 信息科学与工程学院,福建 厦门 361021;泉州师院 应用科技学院,福建 泉州 362000 |
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| 基金项目： | 福建省自然科学基金(11151054)和福建省光传输与变换重点实验室开放课题(2014101)资助 项目 (华侨大学 信息科学与工程学院,福建 厦门 361021；泉州师院 应用科技学院,福建 泉州 362000) |
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| 摘 要： | 提出一种基于聚合物材料的新型微机电系统(MEMS)交流电传感器,对其关键部件聚合物MEMS磁扭转微镜的特性进行研究。磁扭转微镜基体材料采用聚碳酸酯(PC),扭转梁采用金属材料制作,永磁体内置于扭转微镜中,被聚合物材料所包埋,磁扭转微镜的反射面为反射光栅结构。对扭转微镜的特征参数对扭转力矩和扭转角度的影响进行了分析。结果表明,磁扭转微镜的力矩与通电导线的电流大小成正比,微镜稳态扭转振动时最大扭转角度与导线交流电流(a.c.)幅度成正比;扭转梁长度越长,扭转角幅度越大;而稳态振动扭转角幅度随着扭转梁半径的增大而减小。通过对扭转微镜反射光栅0级衍射光的接收与解调,得到归一化光强测量电流的灵敏度可达0.024/A。
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| 关 键 词： | 聚合物微机电系统(MEMS) 磁扭转微镜 反射光栅 电流传感器 |
| 收稿时间： | 2014/12/6 0:00:00 |
Characteristics of MEMS torsion micro-mirror current sensor based on polymer ma terial |
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| WANG Ju-feng;HUANG Mei-hong;ZHUANG Lin-ling;LIU Shi-wei;HU Yi-bin;ZHUANG Qi-ren.Characteristics of MEMS torsion micro-mirror current sensor based on polymer ma terial[J].Journal of Optoelectronics·laser,2015,26(3):450-456. |
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| Authors: | WANG Ju-feng;HUANG Mei-hong;ZHUANG Lin-ling;LIU Shi-wei;HU Yi-bin;ZHUANG Qi-ren |
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| Institution: | College of Information Science and Engineering,Huaqiao University,Xiamen 361021,China;Applied Science and Technology College,Quanzhou Normal University,Quanzhou 362000,China;College of Information Science and Engineering,Huaqiao University,Xiamen 361021,China;Applied Science and Technology College,Quanzhou Normal University,Quanzhou 362000,China;College of Information Science and Engineering,Huaqiao University,Xiamen 361021,China;Applied Science and Technology College,Quanzhou Normal University,Quanzhou 362000,China;College of Information Science and Engineering,Huaqiao University,Xiamen 361021,China;Applied Science and Technology College,Quanzhou Normal University,Quanzhou 362000,China;College of Information Science and Engineering,Huaqiao University,Xiamen 361021,China;Applied Science and Technology College,Quanzhou Normal University,Quanzhou 362000,China;College of Information Science and Engineering,Huaqiao University,Xiamen 361021,China;Applied Science and Technology College,Quanzhou Normal University,Quanzhou 362000,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | polymer micro-electro mechanical system (MEMS) torsion micro-mirror reflecti on grating current sensor |
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