| MOCVD方法生长ZnO微米柱的结构与光学性质 |
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| 引用本文： | 魏志鹏,吕有明,申德振,刘益春,赵东旭,李炳辉,张吉英,范希武. MOCVD方法生长ZnO微米柱的结构与光学性质[J]. 发光学报, 2004, 25(2): 139-142 |
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| 作者姓名： | 魏志鹏 吕有明 申德振 刘益春 赵东旭 李炳辉 张吉英 范希武 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033 |
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| 基金项目： | 国家“863”高技术项目,新材料领域(2001AA31112)，中国科学院二期创新基金，中国科学院百人计划基金，国家自然科学基金(60176003,60278031) |
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| 摘 要： | 通过X射线衍射、扫描电子显微镜和变温光致发光光谱对MOCVD方法生长在蓝宝石衬底上的ZnO微米柱材料的结构及发光特性进行了表征.X射线衍射结果表明,ZnO具有良好的c轴择优取向,扫描电子显微镜图中可观察出ZnO微米在呈六角结构生长,半径约为0.5～1.5μm.样品的发光光谱通过He-Cd激光器的325nm线激发,从光谱中发现低温(81K)下出现极强的与激子相关的带边发光峰,温度升高到360K时与自由激子相关的紫外发射峰仍然是清晰可见.
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| 关 键 词： | 金属有机化学气相沉积 ZnO微米柱 X射线衍射 扫描电子显微镜 光致发光 |
| 文章编号： | 1000-7032(2004)02-0139-04 |
| 收稿时间： | 2003-03-28 |
| 修稿时间： | 2003-03-28 |
Structure and Optical Characteristics of ZnO Micro-rods Grown by MOCVD |
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| WEI Zhi-peng,LU You-ming,SHEN De-zhen,LIU Yi-chun,ZHAO Dong-xu,LI Bing-hui,ZHANG Ji-ying,FAN X W Key Laboratory of Excited State Processes,Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun ,China. Structure and Optical Characteristics of ZnO Micro-rods Grown by MOCVD[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2004, 25(2): 139-142 |
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| Authors: | WEI Zhi-peng LU You-ming SHEN De-zhen LIU Yi-chun ZHAO Dong-xu LI Bing-hui ZHANG Ji-ying FAN X W Key Laboratory of Excited State Processes Changchun Institute of Optics Fine Mechanics Physics Chinese Academy of Sciences Changchun China |
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| Affiliation: | Key Laboratory of Excited State Processes, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033, China |
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| Abstract: | Well-aligned ZnO micro-rods have been prepared on Al2O3(0001)substrate by metalorganic chemical vapor deposition(MOCVD)with Zn(C5H7O2)2 as the reactant source.The crystal quality and optical character of the ZnO were studied.X-ray diffration spectra show that ZnO is strongly c-oriented.The morphology of the sample was obtained by SEM.The images indicated the ZnO micro-rods have hexahedral structure with radius of 0.5～1.5μm.A strong ultraviolet(UV)emission is observed at 81～360 K when sample is excited by 325 nm line of a He-Cd laser.In the photoluminescence(PL)spectra,deep level emission can't be seen,indicating that the micro-rods have higher crystalline guality. |
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| Keywords: | MOCVD ZnO micro-rod XRD SEM photoluminescence |
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