基于Plant Simulation的半导体机台配置优化仿真分析 |
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引用本文: | 白帆,徐策,程星华,李舒欣,赵晓妍,黄志磊.基于Plant Simulation的半导体机台配置优化仿真分析[J].半导体技术,2024(1):103-108. |
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作者姓名: | 白帆 徐策 程星华 李舒欣 赵晓妍 黄志磊 |
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摘 要: | 半导体制造工厂的机台数量配置对产线的生产效率具有重要影响,然而传统机台配置方法不能将时间维度和复杂派工策略统筹考虑,难以量化评估机台配置对产能的影响,容易出现投资浪费、产能不足、空间布局不合理等问题。在Plant Simulation仿真软件中建立半导体制造执行系统(MES)实时派工机制,模拟工厂的真实运行状态,同时提出了一种机台配置的优化算法。将此方法用于某半导体工厂的设备配置,有效提升了产能及设备利用率,为半导体及其他行业的机台配置提供借鉴和参考。
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关 键 词: | 半导体工厂 离散仿真分析 制造执行系统(MES) 派工策略 产线机台配置 |
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