融石英表面高质量亚波长光栅结构的飞秒激光加工EI北大核心CSCD |
| |
引用本文: | 刘洋,朱香平,靳川,张笑墨,赵卫.融石英表面高质量亚波长光栅结构的飞秒激光加工EI北大核心CSCD[J].光子学报,2023(7):57-66. |
| |
作者姓名: | 刘洋 朱香平 靳川 张笑墨 赵卫 |
| |
作者单位: | 1.中国科学院西安光学精密机械研究所710119;2.瞬态光学与光子技术国家重点实验室710119;3.中国科学院大学100049; |
| |
基金项目: | 国家自然科学基金国家重大科研仪器研制项目(No.52127817);中国科学院重大科研仪器设备研制项目(No.ZDKYYQ20220007)。 |
| |
摘 要: | 采用钛蓝宝石飞秒激光加工系统在融石英表面诱导表面周期性微纳结构,研究了激光诱导表面周期结构的形成过程以及激光能量密度、脉冲数、光斑大小和脉冲的空间间隔对融石英表面激光诱导表面周期结构的形貌的影响。实验结果表明,飞秒激光在融石英表面可以诱导出周期性的亚波长结构,主要以垂直于激光偏振方向的光栅状结构为主,其周期在百纳米量级且具有更好的可复现性。在激光光斑控制在1μm附近时,所得到的形貌具有较高的规则性。根据实验结果设计了聚焦高斯光斑低通量的加工方式。所制备的光栅结构具有200~300 nm的周期,平均深度约为300 nm。
|
关 键 词: | 飞秒激光加工 表面形貌 亚波长结构 融石英 周期性结构 |
本文献已被 维普 等数据库收录! |
|