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PDMS微流控芯片加工技术研究
引用本文:
林晓梅,张铭.PDMS微流控芯片加工技术研究[J].吉林工学院学报,2013(2):172-179.
作者姓名:
林晓梅
张铭
作者单位:
长春工业大学电气与电子工程学院
摘 要:
对PDMS微流控芯片的制作流程、封装方法和结构特征进行了探讨,并提出了相应的解决方案。
关 键 词:
微流控芯片
聚二甲基硅氧烷
微加工
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