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在硅和钛合金基体上利用PMPECVD生长非晶碳膜

引用本文：	田青.在硅和钛合金基体上利用PMPECVD生长非晶碳膜[J].等离子体应用技术快报,1997(7):7-8.

作者姓名：	田青

摘要：
关键词：	硅钛合金非晶碳膜薄膜生长 RMPECVD
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