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低能聚焦离子束薄膜制备技术

引用本文：	青山.低能聚焦离子束薄膜制备技术[J].等离子体应用技术快报,1997(1):1-3.

作者姓名：	青山

摘要：
关键词：	低能聚焦离子束薄膜生长
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