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PVD方法制备功能薄膜
引用本文：明石.PVD方法制备功能薄膜[J].等离子体应用技术快报,1997(3):10-12.
作者姓名：明石
摘    要：
关 键 词：功能薄膜  薄膜制备  PVD
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