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离子束辅助蒸镀技术的发展和课题

引用本文：	肖敏.离子束辅助蒸镀技术的发展和课题[J].等离子体应用技术快报,1997(5):14-15.

作者姓名：	肖敏

摘要：
关键词：	表面加工金属离子束蒸镀离子注入
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