基于空心微柱介电层的柔性电容式压力传感器

提出了一种使用空心微柱介电层的柔性电容式压力传感器，通过倒模的方法制备PDMS和BaTiO₃复合材料的空心微柱介电层，通过在PET薄膜上丝网印刷导电银浆制作为阵列式电极。实验表明，该传感器在压力范围为0～5 kPa, 5～50 kPa和50～200 kPa时的灵敏度分别为0.498,0.026和0.008 kPa^-1,最小检测压力可达35 Pa,在1000次重复压力实验中表现稳定，且具有快速的响应速度(约134 ms)。该传感器制备方法简单高效，制作成本低且便于大规模制备，同时该传感器在准确性、稳定性、灵活性等方面都有优秀的表现，可被应用于可穿戴电子设备和智能机器人等领域。