基于光场调控的飞秒激光直写光波导研究进展(特邀) |
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引用本文: | 张彬,王磊,贾曰辰,等. 基于光场调控的飞秒激光直写光波导研究进展(特邀)[J].光子学报,2022,51(1):0151106DOI:10.3788/gzxb20225101.0151106 |
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作者姓名: | 张彬 王磊 贾曰辰 陈峰 |
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作者单位: | .山东大学 物理学院 晶体材料国家重点实验室, 济南 250100 |
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基金项目: | National Natural Science Foundation of China(12174222);Major Fundamental Research Project of Shandong Provincial Natural Science Foundation(ZR2021ZD02) |
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摘 要: | 飞秒激光直写是一种无掩模、高效、灵活的三维加工技术,可以对材料实现微纳米级加工,已经成为应用最广泛的材料精密加工技术之一.基于光波导的微纳光子器件(如分束器、频率转换器和电光调制器等),不但可以保持块体材料本身的优异特性,还能极大提高器件的性能和集成度,具有块体材料器件所不具备的特点和优势.因此,对集成光波导和光波导器...
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关 键 词: | 光场调控 飞秒激光直写 透明材料 光波导 光学器件 |
收稿时间: | 2021-10-06 |
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