平面干涉仪参考镜误差标定方法北大核心CSCD

针对平面干涉仪参考镜误差的标定方法进行文献综述。根据干涉原理分析了干涉仪系统误差的主要来源,干涉仪测量原理是携带参考面信息的参考光和携带被测面信息的物光发生干涉,若参考平面存在误差则会直接影响最后的测量精度,所以参考平面的精度是干涉仪主要误差来源之一。因此归纳总结了现有的参考平面绝对测量方法,结合国内外相关文献系统地介绍了液面基准法、三平面互检法以及伪剪切法的发展过程,并对各类方法进行了对比分析。最后对该技术领域的发展进行了总结。