|
|||||
|
|
| 类金刚石纳米棒阵列的制备与场发射测试 | |
| 引用本文： | 李慧慧,何金龙.类金刚石纳米棒阵列的制备与场发射测试[J].电子显微学报,2021,40(4):392-397. |
| 作者姓名： | 李慧慧 何金龙 |
| 作者单位： | 包头师范学院 物理科学与技术学院,内蒙古 包头014030 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;包头师范学院青年科学基金 |
| 摘 要： | 在硅衬底上用磁过滤阴极真空弧(FCVAD)沉积系统沉积类金刚石(DLC)膜,以镍颗粒做掩膜,在电感耦合等离子体(ICP)系统中刻蚀DLC膜进而得到DLC纳米棒.经场发射检测,DLC纳米棒阵列的开启电场低至1.990 V·μm-1,阈值电场为4.312 V·μm-1,测量到的最大电流密度达到20.248 mA·cm-2时... |
| 关 键 词： | 类金刚石 纳米棒 干法刻蚀 场发射 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |