铜反射镜车削刀纹修抛工艺技术研究北大核心CSCD

单点金刚石车削技术虽然可以使铜反射镜获得较好的表面粗糙度,但同时也产生了车削刀纹,刀纹引起镜面光的散射现象,严重影响系统的光学性能。为研究去除铜反射镜车削刀纹的修抛工艺最佳参数,采用4因素4水平正交实验法,通过ZJP350平面精磨抛光机进行抛光工艺实验,以及Zygo Newview 8200白光干涉仪对铜反射镜的刀纹去除情况和表面粗糙度进行检测。结果表明:铜镜胶盘的方法会使铜镜表面产生划痕以及塌边现象,而阻尼布手工修抛法则可避免这些问题。实验得到了最佳修抛工艺参数,可使铜基反射镜表面刀纹去除,粗糙度平均值达到2.387nm,低于初始数据。证明该方法可在不破坏车削精度的前提下去除车削刀纹,对其他金属反射镜刀纹去除的研究具有参考意义。