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| 微波频率与功率对微波等离子体参数的影响 | |
| 引用本文： | 肖玮曾晓勇朱铧丞黄卡玛.微波频率与功率对微波等离子体参数的影响[J].真空电子技术,2018(1):48-51. |
| 作者姓名： | 肖玮曾晓勇朱铧丞黄卡玛 |
| 作者单位： | 1.四川大学电子信息学院610065; |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)2013CB328900和2013CB328905 |
| 摘 要： | 本文研究了微波功率和微波频率对等离子体参数,如电子密度、电子温度、气体温度以及火焰长度的影响。对等离子体的多物理场数值仿真是在基于有限元法的COMSOL Multiphysics中进行的。计算结果显示,等离子体电子密度、电子温度、气体温度都会随着输入微波功率的增大而增大;2450 MHz的微波等离子体相比于915 MHz的微波等离子体,具有更好的性能。同时,本文对不同输入功率下等离子体火焰长度进行了实验测量,结果显示输入功率对火焰长度仅有很微弱的影响。 |
| 关 键 词： | 微波功率 微波频率 等离子体参数 |
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