| 硅多条探测器的研制和初步应用 |
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| 引用本文： | 谭继廉,靳根明,王宏伟,段利敏,袁小华,王小兵,李松林,卢子伟,徐瑚珊,宁宝俊,田大宇,王玮,张录. 硅多条探测器的研制和初步应用[J]. 中国物理 C, 2005, 29(4): 383-386 |
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| 作者姓名： | 谭继廉 靳根明 王宏伟 段利敏 袁小华 王小兵 李松林 卢子伟 徐瑚珊 宁宝俊 田大宇 王玮 张录 |
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| 作者单位： | 中国科学院近代物理研究所 兰州730000(谭继廉，靳根明，王宏伟，段利敏，袁小华，王小兵，李松林，卢子伟，徐瑚珊)，北京大学微电子研究所 北京100871(宁宝俊，田大宇，王玮)，北京大学微电子研究所 北京100871(张录) |
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| 基金项目： | 中国科学院知识创新工程重点方向性项目(KJCX2SWNo7)资助~~ |
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| 摘 要： | 描述了用微电子工艺技术成功研制硅多条探测器的制备工艺技术及测试结果. 这种探测器的灵敏面积为50mm×20mm. P掺杂面被等分成相互平行的，长度为20mm，宽度为3mm的16条，相邻条之间的间距为140μm. 当探测器工作在全耗尽偏压下，每一条的反向漏电流的典型值<2nA.239Pu α粒子的能量分辨为0.5%-0.9%，相邻条之间的相互影响(crosstalk)为4%-8%. 用于 7.2 MeV/u的C束离子测量，得到能量分辨为0.27%.
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| 关 键 词： | 硅多条探测器 微电子工艺 电特性 漏电流 探测特性 能量分辨率 |
| 收稿时间： | 2004-08-20 |
Development of Si Multi-Strip Detector |
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| TAN Ji-Lian,) JIN Gen-Ming WANG Hong-Wei DUAN Li-Min YUAN Xiao-Hua WANG Xiao-Bing LI Song-Lin LU Zi-Wei XU Hu-Shan NING Bao-Jun TIAN Da-Yu WANG Wei ZHANG Lu. Development of Si Multi-Strip Detector[J]. High Energy Physics and Nuclear Physics, 2005, 29(4): 383-386 |
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| Authors: | TAN Ji-Lian ) JIN Gen-Ming WANG Hong-Wei DUAN Li-Min YUAN Xiao-Hua WANG Xiao-Bing LI Song-Lin LU Zi-Wei XU Hu-Shan NING Bao-Jun TIAN Da-Yu WANG Wei ZHANG Lu |
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| Affiliation: | TAN Ji-Lian~1,1) JIN Gen-Ming~1 WANG Hong-Wei~1 DUAN Li-Min~1 YUAN Xiao-Hua~1 WANG Xiao-Bing~1 LI Song-Lin~1 LU Zi-Wei ~1 XU Hu-Shan~1 NING Bao-Jun~2 TIAN Da-Yu~2 WANG Wei~2 ZHANG Lu~2 1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Si multi-strip detector microelectronic technique electronic performance detection performance leakage current energy resolution |
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