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| 集成电路(IC)可靠性物理问题 | |
| 引用本文： | 许康. 集成电路(IC)可靠性物理问题[J]. 物理, 1985, 14(9). |
| 作者姓名： | 许康 |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 摘 要： | ＩＣ即集成电路是未来信息世界的主要物质基础之一．它自１９６０年前后在Ｓｉ平面技术基础上发明以来，先后经历了小、中、和大规模电路（即ＳＳＩ，ＭＳＩ和ＬＳＩ）以及当前的超大、超高速集成电路（即ＶＬＳＩ，ＶＨＳＩＣ）阶段．为了适应这种飞速的演变，其可靠性技术也相应由分立器件的统计失效发展成为以控制和预防、消除失效为主．后二者是以失效物理或可靠性物理学研究为基础．本文试图就ＩＣ可靠性物理学这一交叉学?... |
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