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光化学氧化对多孔硅稳定性及SO2传感性能影响
引用本文:黎学明,王力春,杨建春. 光化学氧化对多孔硅稳定性及SO2传感性能影响[J]. 应用化学, 2007, 24(5): 512-516
作者姓名:黎学明  王力春  杨建春
作者单位:1. 重庆大学化学化工学院,重庆,400044
2. 教育部,光电技术及系统重点实验室,重庆
摘    要:采用光化学氧化方法对多孔硅进行后处理,获得具有良好稳定性的氧化多孔硅;采用SEM、AFM、FT-IR进行表征;通过SO2传感实验,评价其光致发光谱的变化。结果表明,采用电化学阳极氧化制备的新鲜多孔硅在空气中稳定性较差,SEM图表明其膜层分布有120×40μm的长方形小块,光化学氧化后使该长方形小块进一步分裂变细;AFM图表明,新鲜制备的多孔硅经稳定化处理后,表面硅柱宽度由700~750 nm变为300~350 nm,高度由50~58 nm变为40 nm;出现Si—O键(1 114 cm-1)和OSi—H键(2 249 cm-1)的振动峰;该氧化多孔硅在SO2介质中呈可逆的荧光猝灭特征,荧光峰的位置不随SO2浓度变化而发生移动,稳定性较好。

关 键 词:多孔硅  光致发光
文章编号:1000-0518(2007)05-0512-05
修稿时间:2006-06-18

Effect of Photochemical Oxidization on Stability and SO2 Sensing Performance of Porous Silicon
LI Xue-Ming,WANG Li-Chun,YANG Jian-Chun. Effect of Photochemical Oxidization on Stability and SO2 Sensing Performance of Porous Silicon[J]. Chinese Journal of Applied Chemistry, 2007, 24(5): 512-516
Authors:LI Xue-Ming  WANG Li-Chun  YANG Jian-Chun
Affiliation:1. College of Chemistry and Chemical Engineering, Chongqing ; 2.MOE Key Laboratory of Optoelectronic Technology and System, Chongqing University, Chongqing 400044
Abstract:
Keywords:SO2
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