| 柱式平板声子晶体点缺陷模式研究 |
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| 引用本文： | 黄翔宇,刘永顺,舒风风,武俊峰,吴一辉.柱式平板声子晶体点缺陷模式研究[J].压电与声光,2017,39(2):198-201. |
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| 作者姓名： | 黄翔宇 刘永顺 舒风风 武俊峰 吴一辉 |
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| 作者单位： | （1.中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，应用光学国家重点实验室， 吉林 长春 130033;2.中国科学院大学，北京 100049） |
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| 基金项目： | “八六三”计划基金资助项目（2015AA042603）；国家自然科学基金资助项目(51505456)；吉林省科技发展计划基金资助项目（20140101057JC，20150520110JH）；吉林省“双十工程”重大科技攻关基金资助项目（201402011GX）；吉林省省级经济结构战略调整引导资金专项基金资助项目(2015Y028) |
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| 摘 要： | 柱式平板声子晶体结构有利于实现质量加载和液相检测,该文提出并制备一种柱式平板声子晶体点缺陷。采用有限元法进行禁带计算分析,仿真出该声子晶体点缺陷模式的振型。采用微机电系统(MEMS)工艺制备出硅基AlN声波传感器,通过电极构型的模式选择对选定点缺陷模式的性能进行了测试分析。结果表明,通过合理设计激励电极可获得较高频率声子晶体点缺陷模式。实验中选择激发的模式频率为7.732 MHz,其对应空气中品质因数Q=700,这为实现液相检测提供了理论基础和实验依据。
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| 关 键 词： | 声子晶体 柱式平板 点缺陷 选择性激励 工艺加工 |
Research on Point Defect Mode of Pillar Plate Phononic Crystal |
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| HUANG Xiangyu,LIU Yongshun,SHU Fengfeng,WU Junfeng,WU Yihui.Research on Point Defect Mode of Pillar Plate Phononic Crystal[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2017,39(2):198-201. |
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| Authors: | HUANG Xiangyu LIU Yongshun SHU Fengfeng WU Junfeng WU Yihui |
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| Institution: | (1.State Key Lab. of Applied Optics,Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China;
2. University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | phononic crystal pillar plate point defect selective incentive processing |
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