光电子学与光电子产业专题系列介绍:用于X射线光学的多层膜 |
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引用本文: | 曹健林.光电子学与光电子产业专题系列介绍:用于X射线光学的多层膜[J].物理,1991,20(5):288-291. |
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作者姓名: | 曹健林 |
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作者单位: | 中国科学院长春光学精密机械研究所 应用光学国家重点实验室,长春130022 |
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摘 要: | 用于X射线,特别是软X射线(波长范围约为30-1nm)光学中的多层膜近十年来引起了人们的广泛重视,取得了许多重要进展.本文对这类多层膜的特点、制备和检测方法以及应用等作简要介绍.
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关 键 词: | X射线光学 光电子学 多层膜 |
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