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| 实现纳米结构的新途径—STM制版技术 | |
| 引用本文： | 董树忠.实现纳米结构的新途径—STM制版技术[J].物理,1991,20(11):647-649. |
| 作者姓名： | 董树忠 |
| 作者单位： | 复旦大学物理系 上海 |
| 摘 要： | 实现纳米结构和器件，对于开发基于量子效应的新器件和提高现有电子器件的性能，具有重要的意义．扫描隧道电子显微镜（ｓｃａｎｎｉｎｇ ｔｕｎｎｅｌｉｎｇ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ，ＳＴＭ）具有原子尺度的分辨率，用以进行表面加工，可能发展成一种实现纳米结构和器件的新技术．本文简单介绍用ＳＴＭ进行纳米级制版的原理、方法以及在实验室中已实现的水平和前景． |
| 关 键 词： | 纳米结构 STM 制版 电子器件 VLSI |
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