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MBE生长InAs/GaSbⅡ类超晶格材料的界面控制方法分析
引用本文:任洋,李俊斌,覃钢,杨晋,李艳辉,周旭昌,杨春章,常超,孔金丞,李东升.MBE生长InAs/GaSbⅡ类超晶格材料的界面控制方法分析[J].红外技术,2021,43(4):301-311.
作者姓名:任洋  李俊斌  覃钢  杨晋  李艳辉  周旭昌  杨春章  常超  孔金丞  李东升
作者单位:昆明物理研究所,云南昆明 650223
摘    要:本文系统地介绍了MBE外延生长InAs/GaSbⅡ类超晶格材料的界面控制方法,主要包括生长中断法、表面迁移增强法、V族元素浸润法和体材料生长法.短波(中波)InAs/GaSb超晶格材料界面采用混合(mixed-like)界面,控制方法以生长中断法为主;长波(甚长波)超晶格材料界面采用InSb-like界面,控制方法采用...

关 键 词:InAs/GaSb  Ⅱ类超晶格  InSb-like界面  GaAs-like界面  生长中断法  MEE
收稿时间:2020-12-19
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