| 316L不锈钢基体上磁控溅射Er2O3／Er涂层的后处理研究 |
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| 引用本文： | 杨旭东,李弢,古宏伟,汤梅.316L不锈钢基体上磁控溅射Er2O3／Er涂层的后处理研究[J].中国稀土学报,2009,27(2). |
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| 作者姓名： | 杨旭东 李弢 古宏伟 汤梅 |
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| 作者单位： | 北京有色金属研究总院超导材料研究中心,北京,100088 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划(973计划) |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射的方法在316L不锈钢表面制备了氧化铒涂层.选用金属铒作为过渡层,研究了不同热处理温度对涂层相组成、表面形貌以及涂层与基底结合情况的影响.XRD,SEM及膜基结合力分析结果表明,带有过渡层的氧化铒涂层表面致密、均匀,退火处理使氧化铒结晶性能提高,经过800℃热处理,生成了金属间化合物ErFe3提高了涂层与基底的结合强度.绝缘电阻率测试结果表明.Er2O3涂层绝缘电阻率在1×1013～1×1015Ω·cm,绝缘性能良好.
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| 关 键 词： | 磁控溅射 316L不锈钢 涂层 热处理 膜基结合力 稀土 |
Effects of Heat Treatment on Er2O3/Er Coatings Grown by Magnetron Sputtering on 316L Stainless Steel |
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| Yang Xudong,Li Tao,Gu Hongwei,Tang Mei.Effects of Heat Treatment on Er2O3/Er Coatings Grown by Magnetron Sputtering on 316L Stainless Steel[J].Journal of the Chinese Rare Earth Society,2009,27(2). |
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| Authors: | Yang Xudong Li Tao Gu Hongwei Tang Mei |
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