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| Si-SiO_2膜的椭圆偏振光谱 | |
| 引用本文： | 莫党,陈树光,余玉贞,黄炳忠.Si-SiO_2膜的椭圆偏振光谱[J].物理学报,1980(5). |
| 作者姓名： | 莫党 陈树光 余玉贞 黄炳忠 |
| 作者单位： | 中山大学物理系 (莫党，陈树光，余玉贞)，中山大学物理系(黄炳忠) |
| 摘 要： | 我们建立了椭圆偏振光谱仪装置,提出一种较简便的测定方法(测I_(max),I_(min),θ_(min),算(ψ,Δ)-λ),并对具有不同厚度氧化硅膜的硅样品进行了测量。还在理论上计算了光谱曲线,与实验结果基本相符。最后,对比了测定膜厚的偏振光谱法与消光法。 |
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