液相外延MCT薄膜的缺陷分析 |
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引用本文: | 王跃,汤志杰,庄维莎,何景福.液相外延MCT薄膜的缺陷分析[J].红外与激光工程,1991(5). |
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作者姓名: | 王跃 汤志杰 庄维莎 何景福 |
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作者单位: | 昆明物理研究所,昆明物理研究所,昆明物理研究所,昆明物理研究所 |
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摘 要: | 用金相显微镜,X光衍射仪和扫描电子显微镜观察分析了用滑块LPE生长的MCT外延层。结果表明外延层中有大量的孪晶、亚晶以及晶界等缺陷,外延层的晶格还存在有扭曲以及大量的应力。对CdTe衬底材料的分析表明:外延层中的上述缺陷与CdTe衬底有一一对应关系。外延层与CdTe衬底的对比分析还表明:除CdTe衬底外,外延生长工艺对外延层质量也有很大影响。
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关 键 词: | 液相外延 碲镉汞 结构缺陷 应力 |
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