基于磁控溅射与退火工艺制备的纳米结构VO2薄膜特性的研究

氧化钒（VOx）根据不同价态表现出不同的电学特性，其电学和光学特性还与薄膜的结构有关。通过不同的沉积方法，可以得到不同态的氧化钒。目前制备氧化钒薄膜的方法有真空蒸镀、溅射、气相沉积和溶胶-凝胶法等。适当改变制备条件可以制得不同结构的氧化钒薄膜，这种结构对薄膜的性能会产生明显的影响。