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基于磁控溅射与退火工艺制备的纳米结构VO2薄膜特性的研究
摘 要:
氧化钒(VOx)根据不同价态表现出不同的电学特性,其电学和光学特性还与薄膜的结构有关。通过不同的沉积方法,可以得到不同态的氧化钒。目前制备氧化钒薄膜的方法有真空蒸镀、溅射、气相沉积和溶胶-凝胶法等。适当改变制备条件可以制得不同结构的氧化钒薄膜,这种结构对薄膜的性能会产生明显的影响。
关 键 词:
纳米结构
薄膜特性
制备条件
磁控溅射
退火工艺
VO2
氧化钒薄膜
溶胶-凝胶法
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