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| 提拉法生长单晶工艺中的扩肩阶段实行自动控制的研究 | |
| 引用本文： | 周志强,张振志,康平,成肇安,杜小红. 提拉法生长单晶工艺中的扩肩阶段实行自动控制的研究[J]. 人工晶体学报, 2001, 30(4): 393-397 |
| 作者姓名： | 周志强 张振志 康平 成肇安 杜小红 |
| 作者单位： | 物资再生利用研究所 |
| 摘 要： | 在用提拉法（Czochralski)生长钽酸锂（LiTaO3)、铌酸锂（LiNbO3)单晶的实践中，通过对上“浮秤”模拟体的优化设计，成功实现了扩肩工艺阶段的自动控制。 |
| 关 键 词： | 提拉法 自动扩肩 上“浮秤” 优化设计 逆向模拟 单晶 工艺 自动控制 |
| 文章编号： | 1000-985(2001)04-393-05 |
| 修稿时间： | 2001-08-07 |
Research on the Autocontrol of the Stage of Extending Shoulder in Growing Crystalby the Czochralski Method |
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