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| SLOC传感器光刻干燥不良的改善 | |
| 作者姓名： | 李石雷 刘超强 吴东起 邱靖文 郑晓虎 刘群 李伟 张泽军 |
| 摘 要： | 液晶面板上配单层触控传感器(Single Layer On Cell,SLOC)产品在完成传感器光刻工艺后,在宏观检查机上观察,基板的彩膜倒角侧存在大面积的不良(Mura),测试不良区域与正常区域的关键尺寸(CD)值,不良区域的CD值明显偏大,部分点位超出管控指标;另外,SLOC产品在生产工艺后段模组段缺陷不良高发,缺... |
| 关 键 词： | 干燥不良 CD均一性 缺陷不良 显影机 二次液切 |
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