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Sigmund热尖峰溅射模型的研究

引用本文：	万亚,李岱青.Sigmund热尖峰溅射模型的研究[J].烟台师范学院学报(自然科学版),1993,9(4):40-43.

作者姓名：	万亚李岱青

摘要：
关键词：	溅射能量淀积热尖峰 Sigmund
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