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阴极电弧离子沉积TiN/Ti镀层腐蚀特性
作者姓名:鲜晓斌 王庆富 刘天伟 刘清和
摘    要:TiN镀层作为耐磨镀层,半导体工业中的扩散阻挡层,电子装置镀层,射频超导阱结构中的反次级电子倍增效应镀层,装饰和耐腐蚀保护镀层,已经在各个领域中得到广泛的应用。TiN镀层由于有很稳定的化学性能,以及和各种钢基材有较好的结合强度,特别适合用于材料的防腐蚀保护镀层。

关 键 词:耐磨镀层 TiN 腐蚀特性 离子沉积 阴极电弧 防腐蚀保护 扩散阻挡层 半导体工业
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