| 超精密气浮平台的定位精度分析 |
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| 引用本文： | 何学明,陈学东,曾理湛,余显忠.超精密气浮平台的定位精度分析[J].华中科技大学学报(自然科学版),2008,36(3):8-11. |
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| 作者姓名： | 何学明 陈学东 曾理湛 余显忠 |
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| 作者单位： | 华中科技大学,数字制造装备与技术国家重点实验室,湖北,武汉,430074;公安海警高等专科学校,海警研究所,浙江,宁波,315801;华中科技大学,数字制造装备与技术国家重点实验室,湖北,武汉,430074 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 针对超精密定位平台的高精度要求,以及气浮轴承的刚度和阻尼相对于气膜厚度的变化存在明显的非线性特性,在分析超精度气浮定位平台的基础上,建立了气浮定位平台直线运动的数学模型和基于滑模控制器(SMC)的系统控制模型,并进行了参数分析和实验研究.结果表明:气浮刚度的增大和阻尼的存在有利于改善平台的定位精度,SMC具有较好的鲁棒性,在受外界干扰较大且存在较大非线性情况下,定位平台仍能达到较好的定位精度.
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| 关 键 词： | 气浮平台 超精密 定位精度 滑模控制器 |
| 文章编号： | 1671-4512(2008)03-0008-04 |
| 修稿时间： | 2007年1月15日 |
Analysis of the positioning accuracy of ultra-precision stage with air-thrust bearings |
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| He Xueming,Chen Xuedong,Zeng Lizhan,Yu Xianzhong.Analysis of the positioning accuracy of ultra-precision stage with air-thrust bearings[J].JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE,2008,36(3):8-11. |
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| Authors: | He Xueming Chen Xuedong Zeng Lizhan Yu Xianzhong |
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