| 超光滑加工技术中光学元件表面材料的均匀去除 |
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| 引用本文： | 陈华男,王君林,刘健. 超光滑加工技术中光学元件表面材料的均匀去除[J]. 光子学报, 2013, 42(4) |
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| 作者姓名： | 陈华男 王君林 刘健 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春,130033 |
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| 摘 要： | 超光滑加工通常是在保证光学元件面型精度不劣化前提下提升其中高频精度.均匀去除是保证超光滑加工过程中光学元件面型精度不劣化的重要途径.本文以四轴三联动小磨头超光滑加工机床为基础,结合Preston假设,研究了四轴三联动超光滑加工机床对光学元件的材料去除特性,发现当机床取某些特定的参量时,通过等值的驻留时间规划即可实现光学元件表面材料的均匀去除.最后,对这些特定的参量进行了对比实验,实验结果验证了理论分析的正确性,
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| 关 键 词： | 小磨头 超光滑加工 均匀去除 等值驻留时间 |
Uniform Removal of the Surface Material of the Optical Components in Ultra-smooth Technology |
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| CHEN Hua-nan , WANG Jun-lin , LIU Jian. Uniform Removal of the Surface Material of the Optical Components in Ultra-smooth Technology[J]. Acta Photonica Sinica, 2013, 42(4) |
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| Authors: | CHEN Hua-nan WANG Jun-lin LIU Jian |
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