电容式微加速度传感器转换电路的设计

电容式微加速度传感器是一种硅微结构加速度传感器，以“叉指”或者“三明治”等方式形成差动电容结构，惯性质量块敏感加速度并转换为电容动极板的位移，差动电容的变化通过激励信号进行调制，经过放大、解调和滤波等处理后，再反馈回电容器的极板上，使电容器动极板始终处于平衡位置；反馈信号同时作为输出，输出信号表征了输入加速度的大小。图1是转换电路的原理图。