| 一种微电解池式微流量传感器的研制 |
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| 引用本文： | 张小娟,吴一辉,贾宏光,张平,王淑荣,宣明.一种微电解池式微流量传感器的研制[J].微细加工技术,2007(1):41-45,55. |
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| 作者姓名： | 张小娟 吴一辉 贾宏光 张平 王淑荣 宣明 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130033;中国科学院研究生院,北京,100039
2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130033 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 基于电解质溶液导电的特性,研制了可测量微升级流量的高灵敏度微电解池式微流量传感器。由电解反应产生的电流大小确定流体流过的时间t,再根据流体流量Q、管道截面积S及液体通过的时间t,即可以得出流过管道的液体量。用流体仿真软件CFX对所设计的器件进行仿真,用微机械加工工艺制作出微管道,并用蒸镀及金属腐蚀的方法制作出微电极。实验表明,所制作的微电解池式微流量传感器符合仿真结果,管道中有无流体时电流变化明显。传感器的灵敏度为蠕动泵的泵速,即1.71μA.s/μL,当蠕动泵的泵速为0.5 r/min时,测得的电流值为10μА。
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| 关 键 词： | 微流量传感器 微电解池 微电极 CFX仿真 硅加工工艺 |
| 文章编号： | 1003-8213(2007)01-0041-05 |
| 修稿时间： | 2006年10月20 |
Development of Micro-flow Sensor with a Type of Micro-electrolytic Cell |
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| ZHANG Xiao-juan,WU Yi-hui,JIA Hong-guang,ZHANG Ping,WANG Shu-rong,XUAN Ming.Development of Micro-flow Sensor with a Type of Micro-electrolytic Cell[J].Microfabrication Technology,2007(1):41-45,55. |
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| Authors: | ZHANG Xiao-juan WU Yi-hui JIA Hong-guang ZHANG Ping WANG Shu-rong XUAN Ming |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-flow sensor micro-electrolytic cell microelectrode CFX simulation silicon processing method |
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