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MOSFET中载流子能量输运计算机辅助分析
引用本文:张义门,滕建旭.MOSFET中载流子能量输运计算机辅助分析[J].电子与信息学报,1991,13(5):482-488.
作者姓名:张义门  滕建旭
作者单位:西安电子科技大学微电子所 西安 (张义门),西安电子科技大学微电子所 西安(滕建旭)
摘    要:本文提出了能量输运问题的二维MOSFET的数值模拟,其中计入了产生、复合以及载流子的温度梯度对器件特性的影响;还提出了改进的迁移率模型。对微米和亚微米MOSFET样品的模拟结果表明,本文所提出的模型和方法与实验符合得很好。

关 键 词:金属-氧化物-半导体场效应晶体管    能量输运    迁移率    数值模拟    CAD
收稿时间:1990-7-27
修稿时间:1990-12-15

COMPUTER AIDED ANALYSIS OF CARRIER ENERGY TRANSPORT IN MOSFETs
Zhang Yimen,Teng Jianxu.COMPUTER AIDED ANALYSIS OF CARRIER ENERGY TRANSPORT IN MOSFETs[J].Journal of Electronics & Information Technology,1991,13(5):482-488.
Authors:Zhang Yimen  Teng Jianxu
Institution:Xidian University Xi'an
Abstract:The two-dimensional numerical simulation of energy transport for MOS FETs is presented, in which the effect of generation, recombination and temperature gradiem of carriers on the characteristics of the devices are considered. An improved mobility model is also proposed. The numerical results of micrometer and submicrometer MOSFETs show that the present model fits esperiment very well.
Keywords:MOSFET  Energy transport  Mobility  Numerical Simulation  CAD
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