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| 第2系列ZrO2(Y2O3)薄膜的慢正电子研究 | |
| 引用本文： | 邹柳娟,夏风,邹道文,翁惠民,黄千峰,周先意,韩荣典. 第2系列ZrO2(Y2O3)薄膜的慢正电子研究[J]. 物理学报, 2000, 49(7): 1352-1355 |
| 作者姓名： | 邹柳娟 夏风 邹道文 翁惠民 黄千峰 周先意 韩荣典 |
| 作者单位： | 1. 华中理工大学物理系,武汉,430074 2. 江西师范大学物理系,南昌,330027 3. 中国科学技术大学现代物理系,合肥,230026 |
| 摘 要： | 用慢正电子技术研究了在溅射时不加偏压，衬底加热３００℃，纯Ａｒ气氛下制备的用Ｙ２Ｏ３稳定的ＺｒＯ２薄膜材料（简称ＹＳＺ薄膜），发现了ＹＳＺ薄膜在不同深度处的缺陷分布情况，退火温度对ＹＳＺ薄缺陷影响，简要讨论了致密、优质ＹＳＺ薄的制备方法。 |
| 关 键 词： | 慢正电子束 表面缺陷 ZrO2薄膜 Y2O3 |
A STUDY OF NO.2 SERIES ZrO2(Y2O3) THIN FILM BY SLOW POSITRONS BEAM |
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| ZOU LIU-JUAN,XIA FENG,ZOU DAO-WEN,WENG HUI-MIN,HUANG QIAN-FENG,ZHOU XIAN-YI,HAN RONG-DIAN. A STUDY OF NO.2 SERIES ZrO2(Y2O3) THIN FILM BY SLOW POSITRONS BEAM[J]. Acta Physica Sinica, 2000, 49(7): 1352-1355 | |
| Authors: | ZOU LIU-JUAN XIA FENG ZOU DAO-WEN WENG HUI-MIN HUANG QIAN-FENG ZHOU XIAN-YI HAN RONG-DIAN |
| Abstract: | |
| Keywords: | slow positron beam ZrO-2(Y-2O-3) thin film surface defects |
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