关于制备1 31 5nn 4 5°入射高反射镜的实验研究 |
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作者姓名: | 王英剑 宋永香 张蕾 王靖 李庆国 |
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作者单位: | 中国科学院上海光学精密机械研究所上海市800-211信箱 201800 |
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基金项目: | 国家863激光技术领域资助课题 |
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摘 要: | 从优化膜系、控制膜厚、改善膜面、均衡应力等四个方面开展了实验研究工作,为制备1315nm45°高反射镜提供一些判断实验数据,并提出改进的方法,从而使制备的高反射膜取得满意的结果反射率大于99.8%.
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关 键 词: | 高反射镜 膜厚 应力 |
文章编号: | 1001-4322(2000)0-0083-04 |
修稿时间: | 2000-08-25 |
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