| 干冰微粒喷射法清洗ITO玻璃的研究 |
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| 引用本文： | 齐童,李军建,李树林.干冰微粒喷射法清洗ITO玻璃的研究[J].半导体光电,2008,29(2):231-234. |
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| 作者姓名： | 齐童 李军建 李树林 |
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| 作者单位： | 电子科技大学,光电信息学院,四川,成都,610054;电子科技大学,光电信息学院,四川,成都,610054;电子科技大学,光电信息学院,四川,成都,610054 |
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| 摘 要： | 对干冰微粒喷射法和低频超声波法清洗ITO玻璃的效果进行了比较研究.用接触角测量仪、SEM和XPS测量了清洗前后ITO玻璃表面的浸润性、污染颗粒数量和元素成分及含量等洁净度指标.研究表明,与超声波法清洗相比,干冰微粒喷射法清洗可以使ITO玻璃表面的接触角更小,有机碳含量减少40.5%,污染颗粒数量也显著减少,是一种清洗ITO玻璃的有效方法.
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| 关 键 词： | ITO 干冰微粒喷射法 低频超声法 清洗 |
| 文章编号： | 1001-5868(2008)02-0231-04 |
| 修稿时间： | 2007年7月21日 |
Carbon Dioxide Snow Jet Treatment on Surface Cleaning of Indium Tin Oxide Glass |
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| QI Tong,LI Jun-jian,LI Shu-lin.Carbon Dioxide Snow Jet Treatment on Surface Cleaning of Indium Tin Oxide Glass[J].Semiconductor Optoelectronics,2008,29(2):231-234. |
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| Authors: | QI Tong LI Jun-jian LI Shu-lin |
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