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微流控芯片流道特征超声C扫描分析
引用本文:金士杰,杨雅喃,田鑫,史思琪,林莉. 微流控芯片流道特征超声C扫描分析[J]. 应用声学, 2023, 42(6): 1123-1128
作者姓名:金士杰  杨雅喃  田鑫  史思琪  林莉
作者单位:大连理工大学无损检测研究所 大连 116085,大连理工大学无损检测研究所 大连 116085,大连理工大学无损检测研究所 大连 116085,大连理工大学无损检测研究所 大连 116085,大连理工大学无损检测研究所 大连 116085
基金项目:国家自然科学基金(51905079);辽宁省“兴辽英才计划”项目(XLYC1902082)
摘    要:微流控芯片流道宽度处于微米尺度,存在特征辨识困难的问题。该文选取两种具有不同流道宽度和布局的典型微流控芯片,采用超声C扫描技术进行流道特征成像。利用标称中心频率15 MHz、10 MHz和5 MHz聚焦探头实施水浸C扫描检测,并分析中心频率、焦斑直径、扫描步进等关键参数对流道表征的影响。实验结果表明,对于流道宽度200μm的微流控芯片,当探头中心频率不低于10 MHz、扫描步进不超过0.1 mm时,成像分辨力和流道表征效果最佳,且流道中心间距测量误差不超过5%。同时,超声C扫描图像可以反映流道宽度变化,辨识发生堵塞的微流控芯片。

关 键 词:超声C扫描  微流控芯片  流道  分辨力
收稿时间:2022-07-29
修稿时间:2023-11-01

Analysis of channel characteristics of microfluidic chips by ultrasonic C-scan
JIN Shijie,Yang Yanan,Tian Xin,Shi Siqi and Lin Li. Analysis of channel characteristics of microfluidic chips by ultrasonic C-scan[J]. Applied Acoustics(China), 2023, 42(6): 1123-1128
Authors:JIN Shijie  Yang Yanan  Tian Xin  Shi Siqi  Lin Li
Affiliation:NDT &E Laboratory,Dalian University of Technology,NDT &E Laboratory,Dalian University of Technology,NDT &E Laboratory,Dalian University of Technology,NDT &E Laboratory,Dalian University of Technology,NDT &E Laboratory,Dalian University of Technology
Abstract:
Keywords:ultrasonic C-scan   microfluidic chip   channel   resolution
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