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线性酚醛树脂在集成电路领域的应用与研究进展
作者姓名:陈炯材蔡铭威吴嘉豪王知张诗洋闵永刚
作者单位:1.广东工业大学材料与能源学院510006;
基金项目:国家自然科学基金联合基金项目(U20A20340);国家重点研发计划(2020YFB0408100);广东引进创新创业团队计划(2016ZT06C412);佛山市科技创新团队项目(1920001000108);广州市红棉计划(HMJH-2020-0012)。
摘    要:在集成电路领域中,线性酚醛树脂作为基础树脂,是关键的功能材料。然而,传统的酚醛树脂存在稳定性差、感光速度慢、透明度、分辨率和机械强度低等问题,增加了应用成本和技术难度,降低了酚醛树脂在集成电路领域的经济效益。因此,需要对传统线性酚醛树脂进行改性以更好地应用于集成电路领域。本文综述了近年来线性酚醛树脂在芯片光刻胶、电子封装及覆铜板应用的研究现状,总结了目前改性线性酚醛树脂的主要方法,并展望了线性酚醛树脂的发展趋势,为未来高性能集成电路应用材料的研发提供参考。

关 键 词:线性酚醛树脂  芯片光刻胶  电子封装  覆铜板
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