体声波力传感器灵敏度的微分-综合分析法

为了分析基于应力/应变效应的体声波(BAW)力传感器的敏感机理、准确计算其灵敏度，提出了一种用于BAW力传感器灵敏度分析的微分-综合分析法。该方法借鉴了微积分的原理，在Mason等效电路模型中将一个完整的BAW谐振器替换为多个谐振器微元的并联，从而将谐振器有源区面积A上应力/应变场的有限元计算结果与压电薄膜材料的力学特性、谐振器微元的电声学特性关联起来；最后，在射频电路仿真软件中进行等效电路的综合，得到整个BAW谐振器在应力/应变场作用下的阻抗特性曲线及其串/并联谐振频率。当BAW谐振器微元的划分足够细密时，获得的灵敏度分析结果将足够精确。为了论证该方法的原理，给出了一个直观的校核案例。以一个嵌入式FBAR结构的四梁BAW加速度计表头为例，介绍了该方法用于BAW力传感器灵敏度分析的详细过程。虽然案例中只讨论了一种应力/应变型BAW力传感器的单一力敏机理，但该方法具有普适性。并且，当谐振器微元小到接近其压电材料晶格的尺度时，就能与压电薄膜的力-声-电特性的第一性原理计算结果关联起来，实现从微观材料特性到介观器件物理的多尺度计算。