| 光学读出非制冷红外成像的最新进展 |
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| 引用本文： | 董凤良,焦斌斌,张青川,陈大鹏,缪正宇,熊志铭.光学读出非制冷红外成像的最新进展[J].实验力学,2007,22(3):401-406. |
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| 作者姓名： | 董凤良 焦斌斌 张青川 陈大鹏 缪正宇 熊志铭 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学技术大学,中科院材料力学行为和设计重点实验室,合肥,230027
2. 中科院微电子研究所,北京,100029 |
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| 摘 要： | 针对以前红外成像中红外图像的噪声等效温度差（NETD）较大和空间分辨率不高的问题，本文在制作工艺改善的基础上，设计了一个单元尺寸分别是50μm×50μm和60μm×60μm的红外焦平面阵列（FPA），它是由0．5μm厚的SiNX和0．2μm厚的Au构成的双材料微悬臂梁阵列构成。微梁单元倾斜角的变化利用在谱平面刀口滤波的光学方法测量。FPA是利用基于体硅的表面微加工工艺制作的，利用制作的FPA的60μm×60μm单元区域和12bit CCD，得到了室温物体的热像。讨论了60μm×60μm单元区域的性能，给出了NETD在100mK左右。和以前的工作相比，红外图像的温度分辨率和空间分辨率都得到了明显改善。
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| 关 键 词： | 非制冷红外成像 光学读出 焦平面阵列 噪声等效温度差 |
| 文章编号： | 1001-4888（2007）03＆04-0401-06 |
| 修稿时间： | 2007-04-03 |
Advance in Optically Readable Uncooled Infrared Imaging |
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| DONG Feng-liang,JIAO Bin-bin,ZHANG Qing-chuan,CHEN Da-peng,MIAO Zheng-yu,XIONG Zhi-ming.Advance in Optically Readable Uncooled Infrared Imaging[J].Journal of Experimental Mechanics,2007,22(3):401-406. |
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| Authors: | DONG Feng-liang JIAO Bin-bin ZHANG Qing-chuan CHEN Da-peng MIAO Zheng-yu XIONG Zhi-ming |
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| Institution: | 1. CAS Key Laboratory of Mechanical Behavior and Design of Materials, University of Science and Technology of China, Hefei 230027, China 2. Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Science, Beijing 100029, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | uncooled infrared imaging optical readout FPA NETD |
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