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| AlGaAs中δ掺硅的研究 | |
| 引用本文： | 周章文,张允清,柏亚青,李明杰,崔立奇,张文俊,武一宾.AlGaAs中δ掺硅的研究[J].微纳电子技术,1991(6). |
| 作者姓名： | 周章文 张允清 柏亚青 李明杰 崔立奇 张文俊 武一宾 |
| 作者单位： | 机电部13所 石家庄 050051 |
| 摘 要： | 采用MBE工艺,研究在AlGaAs中δ掺硅,并生长了单δ层和多δ层两种结构。用电化学C-V和SIMS测量离化硅浓度和硅原子浓度分布。SIMS测量结果表明升高硅源温度比延长硅注入时间对提高掺杂浓度更为有效。C-V测量的最高浓度为5×10~(19)/cm~3,高于通常体掺杂浓度;FWHM为70～90A,降低衬底温度可望改善FWHM值。 |
| 关 键 词： | 分子束外延 三元化合物半导体 半导体掺杂 |
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