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叉指式微硅加速度计的参数化设计
作者姓名:
刘宗林
吴学忠
李圣怡
摘 要:
详细阐述了微硅加速度计的原理,根据材料力学以及结构动力学原理,分析了叉指式驱动/检测结构的动力学模型,推导了等效质量、等效阻尼、等效刚度等关键参数模型,分析了灵敏度、横向干扰等和结构参数的关系,为微硅加速度计的优化设计与改进提供了理论指导,实现了最优化设计和仿真.
关 键 词:
微机电系统
叉指驱动
加速度计
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