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| SiH4辉光放电等离子体中中性基团的轴向分布 | |
| 引用本文： | 祝祖送,尹训昌,尤建村.SiH4辉光放电等离子体中中性基团的轴向分布[J].安庆师范学院学报(自然科学版),2013(2):76-79. |
| 作者姓名： | 祝祖送 尹训昌 尤建村 |
| 作者单位： | 安庆师范学院物理与电气工程学院 |
| 基金项目： | 安庆师范学院青年科研基金资助项目(044-K10025000031)资助 |
| 摘 要： | 利用RGA100质谱仪成功地实现了对SiH4辉光放电等离子体的在线检测。根据线性拟合的方法获得了SiH4消耗率及中性基团SiHn(n=1,2,3)在空间的分布规律,并对此进行了详细的分析和讨论。 |
| 关 键 词： | 非晶硅薄膜 质谱 辉光放电 消耗率 |
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