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| 一种实现共焦显微镜空间微分成像的新方法 | |
| 引用本文： | 张曼,唐志列,谭治良,吴泳波,廖燕菲,郭利娜.一种实现共焦显微镜空间微分成像的新方法[J].光学学报,2012,32(3):318001-187. |
| 作者姓名： | 张曼 唐志列 谭治良 吴泳波 廖燕菲 郭利娜 |
| 作者单位： | 张曼:华南师范大学物理与电信工程学院, 广东 广州 510631 唐志列:华南师范大学物理与电信工程学院, 广东 广州 510631华南师范大学广东省高等学校量子信息技术重点实验室, 广东 广州 510631 谭治良:华南师范大学物理与电信工程学院, 广东 广州 510631 吴泳波:华南师范大学物理与电信工程学院, 广东 广州 510631 廖燕菲:华南师范大学物理与电信工程学院, 广东 广州 510631 郭利娜:华南师范大学物理与电信工程学院, 广东 广州 510631 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(60877068)和国家高校博士工程研究基金(20104407110008)资助课题。 |
| 摘 要： | 提出了一种实现共焦显微镜空间微分成像的新方法。为了获得空间微分图像,首先利用时间分辨技术结合互补调制技术,获得两束相位相反的调制光,然后利用这两束相位相反的调制光结合共焦扫描技术,实现共焦显微镜的空间微分成像。实验表明:这种空间微分技术可以准确实现共焦显微镜的空间微分成像,从而获得成像物体的边缘轮廓和实现边缘增强。 |
| 关 键 词： | 显微术 共焦显微镜 空间微分 边缘增强 |
| 收稿时间： | 2011/9/13 |
New Method of Spatial Differential Imaging with Confocal Microscope |
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| Zhang Man,Tang Zhilie,Tan Zhiliang,Wu Yongbo,Liao Yanfei,Guo Lina.New Method of Spatial Differential Imaging with Confocal Microscope[J].Acta Optica Sinica,2012,32(3):318001-187. | |
| Authors: | Zhang Man Tang Zhilie Tan Zhiliang Wu Yongbo Liao Yanfei Guo Lina |
| Institution: | 1School of Physics and Telecom Engineering,South China Normal University,Guangzhou,Guangdong 510631,China 2Laboratory of Quantum Information Technology,South China Normal University,Guangzhou,Guangdong 510631,China |
| Abstract: | A new method for obtaining the spatial differential confocal microscopic image is presented. In order to realize spatial differential confocal microscopy, an optical complementary chopper is designed based on time-resolved technology to achieve the differential of signals. Combining with confocal scanning technology, using the different signals of confocal microscope the spatial differential confocal microscopic image is obtained. Through experiments, the rationality of the system is approved. The spatial differential confocal microscopic images of integrated circuit maskplate are measured on this system. The results show that the spatial differential confocal microscopy can gain edge profile of imaging objects and enhance image edge compared to the confocal microscopy. |
| Keywords: | microscopy confocal microscope spatial differential technique edge enhancement |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |