脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜摩擦磨损特性研究 |
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引用本文: | 马胜利 马大衍 王昕 徐可为 介万奇. 脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜摩擦磨损特性研究[J]. 摩擦学学报, 2003, 23(3): 179-182 |
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作者姓名: | 马胜利 马大衍 王昕 徐可为 介万奇 |
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作者单位: | 1. 西北工业大学,凝固技术国家重点实验室,陕西,西安,710072;西安交通大学,金属材料强度国家重点实验室,陕西,西安,710049 2. 西安交通大学,金属材料强度国家重点实验室,陕西,西安,710049 3. 西北工业大学,凝固技术国家重点实验室,陕西,西安,710072 |
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基金项目: | :国家863计划资助项目(2001AA883010),国家自然科学基金资助项目(50271053). |
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摘 要: | 对比研究了脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜的摩擦磨损特性,用扫描电子显微镜、X射线衍射仪及销-盘摩擦磨损试验机分析薄膜形貌和结合力,考察了不同沉积条件下2种薄膜的摩擦磨损过程及其影响因素.结果表明,TiCN薄膜具有较高硬度、良好的膜基结合力,相对于TiN薄膜而言表现出更低的摩擦系数和更好的耐磨性能.在实际使用中应注重成分和结构优化设计,以保证薄膜具有良优良的减摩性能.
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关 键 词: | 硬质薄膜 PCVD 结合力 摩擦磨损性能 脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积 TiN薄膜 TiCN薄膜 |
文章编号: | 1004-0595(2003)03-0179-04 |
修稿时间: | 2002-08-12 |
Tribological Characteristics of TiN and TiCN Hard Coatings Prepared by Pulsed D.C. Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition |
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Abstract: | |
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Keywords: | hard-coatings plasma enhanced chemical vapour deposition interfacial bonding strength tribological characteristic |
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