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监控多层介质膜的椭圆偏振光方法的研究

作者姓名：	沈繁宜尚世铉郑东东单锦安刘汉莉

作者单位：	北京林业大学，北京师范大学

摘要：	本文介绍了用椭圆仪监控多层介质膜的原理、计算方法、实验结果。文章还提出了本方法的前景和目前存在的问题。
本文献已被 CNKI 等数据库收录！